ウエハーリング（ダイシングフレーム）
特 徴
- 最小注文ロット１００枚、評価用に小ロットのご提供可能です
- ダイシングテープが節約できるエコリングもあります
- レーザーマーキングによるバーコードやロット番号、QRコードなどの印字も可能
用 途
・ウエハ（Ｓi、ＳiＣ、ＧaＮ、酸化ガリウム等）のダイシング工程で使用する治工具
分 野
・各種ウエハ（Ｓi、ＳiＣ、ＧaＮ、酸化ガリウム等）
ウエハリングとは
ウエハのダイシング時にウエハを固定するためのリング状の冶具です。
そのため、「ダイシングリング」・「ダイシングフレーム」とも呼ばれます。
また、リングにダイシングテープを貼り付けて用いることから「テープリング」とも呼ばれます。
当社ではダイシングテープの使用量を減らすことが出来るエコリングも扱っています。
ＭＤSシリーズ
MDSシリーズは、標準のウエハーリングです。
SUS材に焼き入れ処理を施し、高硬度を実現。
さらに、無電解ニッケル処理によって防錆性を高めるとともに、ダイシング工程におけるキズの発生を抑制します。
ウエハのダイシングから搬送まで、幅広い工程に対応可能。高い耐久性により、複数回のご使用にも適しています。
| インチ | 5インチ | 6インチ | 8インチ | 12インチ |
|---|---|---|---|---|
| サイズ | W195×D195 | W212×212 | W276×276 | W380×D380 |
| 板厚 | t 1.2 | t 1.5 | ||
| 材質 | SUS420J2 | |||
| 表面処理 | 無電解ニッケルメッキ | |||
| 硬度 | HRC47以上 | |||
| 重量（1枚） | 80g | 80g | 150g | 280g |
| 重量（1箱） | 17kg | 17kg | 15kg | 14kg |
| 標準購入単位 | 200枚（1箱） | 200枚（1箱） | 100枚（1箱） | 50枚（1箱） |
ＭＰシリーズ
MPシリーズは、MDSシリーズに比べて高いコストパフォーマンスを実現したモデルです。
ウエハ搬送専用として開発されており、焼き入れやメッキ処理を省くことで、極限までのコストダウンを達成しました。
搬送専用設計ではありますが、実際にはウエハのダイシング工程での使用実績もございます。
コストと機能のバランスを重視されるお客様に最適な選択肢です。
| インチ | 5インチ | 6インチ | 8インチ |
|---|---|---|---|
| サイズ | W195×D195 | W212×212 | W276×276 |
| 板厚 | t 1.2 | ||
| 材質 | SUS430 | ||
| 重量（1枚） | 80g | 80g | 150g |
| 重量（1箱） | 17kg | 17kg | 15kg |
| 標準購入単位 | 200枚（1箱） | 200枚（1箱） | 100枚（1箱） |
アルミリング
アルミは、従来使用されてきたSUS（ステンレス鋼）と比較して約66％も軽量で、以下のようなメリットを実現します。
SUSリングとの比較
作業効率の向上：軽量化により、取り扱いがしやすく作業者の負担を軽減
搬送・配送コストの削減：部品の軽量化は、物流コストの低減にも大きく貢献
価格：樹脂リングよりもお安く提供できます。（自社調べ）
樹脂リングの代替品としてもご利用可能です。
樹脂リングとの比較
リングの剛性：寸法精度・材料強度が優れています。
価格：樹脂リングよりもお安く提供できます。（自社調べ）
| インチ | 8インチ |
|---|---|
| サイズ | W276×276 |
| 板厚 | t 1.2 |
| 材質 | A5052 |
| 重量（1枚） | 約50g |
| 重量（1箱） | 約5kg |
| 標準購入単位 | 100枚（1箱） |
加工に関して
- 上記以外のサイズも承ります。
- 特殊形状のウエハーリング（エコリング）も製作出来ます。
- レーザーマーキングによるバーコード、ロット番号印字なども出来ます。
レーザーマーキング
18インチウエハーリング
特殊形状ウエハーリング（エコリング）
