マシニング加工各種組立切削部品アルミニウムスーパーエンプラ半導体関連
ウエハーキャリア（ウエハーマガジン）
特徴
キャリア接触箇所（側板）の材質はアルミ、SUS、PEEK＋アルミでの製作実績がございます。
8インチ用 アルミ（無電解Niめっき）と表記されている画像のキャリアは、８インチウエハーを25枚まで収納可能です。
側板はアルミニウム、内部の溝をサンドブラスト加工し、無電解ニッケルを付けることで非常に滑らかな表面になっております。
また、カスタマイズとして同製品へフッ素コーティングを施した実績もございます。
6インチ用 アルミ＋PEEKと記載されている画像のキャリアは6インチウエハーを25枚まで収納可能です。
側板はPEEKで切削加工によりバリの無い綺麗な仕上がりとなっております。
アルミと組み合わせることで反りを抑えています。
近年ではSiC関連でのご使用高温環境での使用に耐える耐熱性キャリアの需要が高まってきています。
弊社では、耐熱性キャリアの試作（耐熱試験500℃以上に対応）を行い製品化に向けて準備しております。
ご要望により他の材質・表面処理・各種サイズも製作可能です。
現在、耐熱性のステンレス製ウエハーキャリアを開発中です。
