マシニング加工旋盤加工曲げ加工（5tまで）金属溶接機械設計各種組立切削部品アルミニウムステンレススーパーエンプラ半導体関連
ウエハーキャリア（ウエハーマガジン）
特徴
キャリア接触箇所（側板）の材質はアルミ、SUS、PEEK＋アルミでの製作実績がございます。
8インチ用 アルミ（無電解Niめっき）と表記されている画像のキャリアは、8インチウエハーを25枚まで収納可能です。
側板はアルミニウム、内部の溝をサンドブラスト加工し、無電解ニッケルを付けることで非常に滑らかな表面になっております。
また、カスタマイズとして同製品へフッ素コーティングを施した実績もございます。
6インチ用 アルミ＋PEEKと記載されている画像のキャリアは6インチウエハーを25枚まで収納可能です。
側板はPEEKで切削加工によりバリの無い綺麗な仕上がりとなっております。
アルミと組み合わせることで反りを抑えています。
耐熱仕様
高熱処理プロセス（400℃以上）で使用するため耐熱性を考慮しSUSで設計しました。
耐熱試験（600℃/1時間）をクリアし、試験後の測定検査でも寸法変化はございません。
使用用途
近年ではSiC関連でのご使用高温環境での使用に耐える耐熱性キャリアの需要が高まってきています。
主に下記工程でご使用されております。
・高熱処理プロセス
・超音波洗浄アプリケーション
・ポリイミドベーク
カスタマイズ
お客様ご希望の材質・表面処理・各種サイズでの製作も承っております。
お気軽にご相談いただけましたら幸いです。
※耐熱仕様は4インチ、6インチ、8インチの製作実績がございます。
