ウエハーリング(ダイシングフレーム)
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![](https://www.mitsuya-gr.co.jp/_bosys/wp-content/uploads/2020/02/ウエハーリング-1-1024x683.jpg)
![](https://www.mitsuya-gr.co.jp/_bosys/wp-content/uploads/2020/02/エコリング2-1-1024x683.jpg)
![](https://www.mitsuya-gr.co.jp/_bosys/wp-content/uploads/2020/02/エコリング3-1-1024x683.jpg)
![](https://www.mitsuya-gr.co.jp/_bosys/wp-content/uploads/2020/02/エコリング4-1-1024x683.jpg)
特 徴
・5・6・8・12インチウエハ用のサイズをラインナップ
・量産用大ロットはもちろん、小ロットでも提供可能
・ダイシングテープが節約できるエコリングもあり
・レーザーマーキングによるバーコードやロット番号、QRコードなどの印字も可能
用 途
・ウエハ(Si、SiC、GaN、酸化ガリウム等)のダイシング工程で使用する治工具
分 野
・各種ウエハ(Si、SiC、GaN、酸化ガリウム等)
ウエハリングとは
ウエハのダイシング時にウエハを固定するためのリング状の冶具です。
そのため、「ダイシングリング」・「ダイシングフレーム」とも呼ばれます。
また、リングにダイシングテープを貼り付けて用いることから「テープリング」とも呼ばれます。
当社ではダイシングテープの使用量を減らすことが出来るエコリングも扱っています。
仕 様
イニシャル不要の安価なウエハリング(ダイシングリング)規格品を各サイズ 5・6・8・12インチウエハ用に提供しております。
MDSシリーズ
ウエハのダイシングからウエハの搬送まであらゆるシーンで使用頂けます。
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![](https://www.mitsuya-gr.co.jp/_bosys/wp-content/uploads/2021/12/ウエハーリング-1-1024x683-1.jpg)
MPシリーズ
ウエハの搬送専用ですが、ウエハのダイシングに使用している実績がございます。
![](https://www.mitsuya-gr.co.jp/_bosys/wp-content/uploads/2023/04/MPシリーズ4.jpg)
![](https://www.mitsuya-gr.co.jp/_bosys/wp-content/uploads/2021/12/ウエハーリング-1-1024x683-1.jpg)
加工に関して
- 上記以外のサイズも承ります。
- 特殊形状のウエハーリング(エコリング)も製作出来ます。
- レーザーマーキングによるバーコード、ロット番号印字なども出来ます。
- 6・8・12インチウエハーリングで養われた技術を基に次世代に向けて18インチウエハーリングを先行開発しております。
![](https://www.mitsuya-gr.co.jp/_bosys/wp-content/uploads/2020/02/unnamed.png)
レーザーマーキング
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18インチウエハーリング
![](https://www.mitsuya-gr.co.jp/_bosys/wp-content/uploads/2020/02/エコリング3-1-1024x683.jpg)
特殊形状ウエハーリング(エコリング)