ウエハーボード・ウエハーガイド
石英製ウエハーボード・ウエハーガイド
高純度・高耐久で、半導体製造プロセスを支える信頼の品質
石英（シリカ）の持つ高純度・耐熱性・耐薬品性といった優れた特性を最大限に活用し、半導体製造工程におけるウエット洗浄プロセスや高温処理（拡散・CVD）に最適なウエハーガイド・ボードをご提供いたします。
お客様の製造環境や装置仕様に応じて、完全オーダーメイドでの製作が可能です。
精密な加工技術と高品質な素材により、繊細な半導体製造工程でも安定した性能を維持します。
石英の特性が活きる、ウエハーボード・ウエハーガイドの強み
石英は、以下のような特性を有する材料です。
- 極めて高い純度（99.99%以上）により、汚染源とならずクリーンな製造環境に対応可能です。
- 高温耐性（約1000℃以上）に優れ、CVDや拡散などの高熱処理工程でも安定します。
- 優れた耐薬品性で、酸やアルカリなどの洗浄液にも劣化せず長期間使用可能です。
これらの特性が、ウエハーを安定して保持・搬送・処理するためのウエハーボード・ウエハーガイドとして非常に適しており、工程の歩留まり向上にも貢献します。
多様なプロセスへの対応力
ウエット洗浄、熱処理、CVD工程で高いパフォーマンス
石英製ウエハーボード・ウエハーガイドは、以下のような工程での使用に適しています。
- ウエット洗浄工程：薬液によるウエハー表面の洗浄時でも、素材が化学反応せず高い耐久性を発揮
- 拡散・CVD工程：高温環境下でも形状の変形が少なく、長期間の使用でも安定した支持性能
- 搬送工程：ウエハーへの物理的影響を最小限に抑えつつ、正確な位置決めが可能
このように、各工程における最適な仕様で製作することで、お客様のプロセスごとの要望に柔軟に対応します。
カスタム対応で理想の製品を
装置に合わせた最適設計・製作が可能
当社では、お客様の装置や工程条件に応じたカスタム設計・製作に対応しています。
- 使用されるウエハーサイズに合わせたスロット幅・深さに調整したい
- 特定プロセス用に求められる形状加工や精密寸法にしたい
上記のようなご要望にも設計段階からのお打ち合わせによって、最適な材質選定・加工方法・表面仕上げまでをトータルでご提案します。
